روش واسنجی بزرگنمایی Z میکروسکوپ نیروی اتمی در سطوح جابجائی زیر نانومتر با استفاده از پله‌های تک اتمی (111)Si
Nanotechnologies-Standard Practice for Calibrating the Z-Magnification of an Atomic Force Microscopic at Subnanometer Displacement Levels using Si(111) Monotomic Steps
شماره:
17148
سال انتشار:
1392
مهمترین مساله در به‌کارگیری ابزار اندازه‌گیری، واسنجی (کالیبراسیون) صحیح آن‌ها در هنگام ساخت و بهره‌برداری است میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) یکی از ابزارهای بسیار دقیق اندازه‌گیری و نمایش سطح در مقیاس اتمی می‌باشد برای اطمینان از نتایج حاصل از این روش اندازه‌گیری نیازمند طراحی و انجام روش‌های و اسنجی دقیق در ابعاد مختلف می‌باشیم در این استاندارد روش واسنجی بزرگنمایی در راستای ۲ میکروسکوپ نیروی اتمی در سطوح جابجائی زیرنانومتر با استفاده از پله‌های تک اتمی (۱۱۱) Si شرح داده شده است.
هدف از تدوین این استاندارد
هدف از تدوین این استاندارد تعیین روش واسنجی بزرگنمایی Z میکروسکوپ نیروی اتمی در مقیاس زیر نانومتر با استفاده از ارتفاع پله‌های تک اتمی (۱۱۱) Si می‌باشد.
شماره استاندارد ملی ایران:
17148
سال انتشار:
1392
روش واسنجی بزرگنمایی Z میکروسکوپ نیروی اتمی در سطوح جابجائی زیر نانومتر با استفاده از پله‌های تک اتمی (111)Si
Nanotechnologies-Standard Practice for Calibrating the Z-Magnification of an Atomic Force Microscopic at Subnanometer Displacement Levels using Si(111) Monotomic Steps
مهمترین مساله در به‌کارگیری ابزار اندازه‌گیری، واسنجی (کالیبراسیون) صحیح آن‌ها در هنگام ساخت و بهره‌برداری است میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) یکی از ابزارهای بسیار دقیق اندازه‌گیری و نمایش سطح در مقیاس اتمی می‌باشد برای اطمینان از نتایج حاصل از این روش اندازه‌گیری نیازمند طراحی و انجام روش‌های و اسنجی دقیق در ابعاد مختلف می‌باشیم در این استاندارد روش واسنجی بزرگنمایی در راستای ۲ میکروسکوپ نیروی اتمی در سطوح جابجائی زیرنانومتر با استفاده از پله‌های تک اتمی (۱۱۱) Si شرح داده شده است.
هدف از تدوین این استاندارد
هدف از تدوین این استاندارد تعیین روش واسنجی بزرگنمایی Z میکروسکوپ نیروی اتمی در مقیاس زیر نانومتر با استفاده از ارتفاع پله‌های تک اتمی (۱۱۱) Si می‌باشد.