بیضی سنجی یک روش اندازه گیری نوری غیر مخرب برای به دست آوردن ضریب شکست، ضخامت لایه و ضریب جذب مواد لایه‌های نازک است. در این روش تغییر نسبی قطبش نور پس از برخورد با سطح نمونه اندازه گیری شده و اطلاعات حاصل از آن با روابطی به خواص نوری و ضخامت نمونه تبدیل می‌شود. تفکیک پذیری حاصل از بیضی سنجی ضخامت بسیار مناسب و نتایج حاصل از آن به گونه‌ای دقیق است که اندازه‌گیری ضخامت کمتر از ۱ نانومتر و همچنین محاسبه ضریب شکست با عدم قطعیتی بین ۰٫۰۱ تا ۰۰۰۱ را میسر می‌سازد. در این استاندارد روش آزمون بیضی سنجی جهت محاسبه ضخامت و همچنین خواص نوری لایه‌های نازک مانند نانوذرات ارائه می‌شود. برای اندازه‌گیری ضخامت‌های لایه‌های مختلف روی ویفرهای سیلیکونی، پیشنهاد می‌شود از روش بیضی سنجی طیفی به جای روش تداخل سنجی لیزری استفاده شود.