فناوری نانو – راهنمای کاربرد بیضی سنجی برای سنجش ضخامت فیلمهای نانومقیاس
Nanotechnologies – A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
شماره:
۲۳۱۱۴
سال انتشار:
1400
بیضی سنجی روش اپتیکی توانمندی برای ارزشیابی خواص دی الکتریک فیلمهای نازک است. بیضی سنجی می‌تواند برای مشخصه یابی ضخامت، زبری، ترکیب شیمیایی، ماهیت بلوری و دیگر خواص نانومواد به کار رود و اغلب برای تضمین کیفیت و عملکرد تجهیزات رشد فیلم نازک استفاده می‌‌شود. سیگنال به تغییر پاسخ اپتیکی نور فرودی که با نانوماده مورد بررسی برهم کنش می‌کند بستگی دارد.
بسیاری از دستگاه‌های الکتروتکنیکی رایج و همچنین نوظهور، از نانوموادی به شکل فیلمهای نازک استفاده می‌کنند. بنابراین تدوین یک پروتکل اندازه گیری برای ارزشیابی ضخامت چنین فیلم‌هایی با درستی کافی اهمیت دارد این استاندارد ملاحظات عملی را که لازم است هنگام استفاده از بیضی سنجی برای ارزشیابی ضخامت فیلمهای نانومقیاس در نظر گرفته شوند شرح می‌دهد.
هدف از تدوین این استاندارد
هدف از تدوین این استاندارد تمرکز بر پروتکل عملی برای بیضی سنجی به منظور ارزشیابی ضخامت فیلمهای نانومقیاس است. این استاندارد هیچ یک از ویژگی‌های بیضی سنج‌ها را شامل نمی‌شود اما پیشنهاداتی در مورد چگونگی کمینه کردن تغییرات داده برای بهبود تجدیدپذیری داده، ارائه می کند.
این استاندارد شامل موارد زیر است:
– طرح کلی روش اجراهای بیضی سنجی؛
– روش‌های تفسیر نتایج و بحث درباره تحلیل داده؛
– مطالعات موردی
شماره استاندارد ملی ایران:
۲۳۱۱۴
سال انتشار:
1400
فناوری نانو – راهنمای کاربرد بیضی سنجی برای سنجش ضخامت فیلمهای نانومقیاس
Nanotechnologies – A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
بیضی سنجی روش اپتیکی توانمندی برای ارزشیابی خواص دی الکتریک فیلمهای نازک است. بیضی سنجی می‌تواند برای مشخصه یابی ضخامت، زبری، ترکیب شیمیایی، ماهیت بلوری و دیگر خواص نانومواد به کار رود و اغلب برای تضمین کیفیت و عملکرد تجهیزات رشد فیلم نازک استفاده می‌‌شود. سیگنال به تغییر پاسخ اپتیکی نور فرودی که با نانوماده مورد بررسی برهم کنش می‌کند بستگی دارد.
بسیاری از دستگاه‌های الکتروتکنیکی رایج و همچنین نوظهور، از نانوموادی به شکل فیلمهای نازک استفاده می‌کنند. بنابراین تدوین یک پروتکل اندازه گیری برای ارزشیابی ضخامت چنین فیلم‌هایی با درستی کافی اهمیت دارد این استاندارد ملاحظات عملی را که لازم است هنگام استفاده از بیضی سنجی برای ارزشیابی ضخامت فیلمهای نانومقیاس در نظر گرفته شوند شرح می‌دهد.
هدف از تدوین این استاندارد
هدف از تدوین این استاندارد تمرکز بر پروتکل عملی برای بیضی سنجی به منظور ارزشیابی ضخامت فیلمهای نانومقیاس است. این استاندارد هیچ یک از ویژگی‌های بیضی سنج‌ها را شامل نمی‌شود اما پیشنهاداتی در مورد چگونگی کمینه کردن تغییرات داده برای بهبود تجدیدپذیری داده، ارائه می کند.
این استاندارد شامل موارد زیر است:
– طرح کلی روش اجراهای بیضی سنجی؛
– روش‌های تفسیر نتایج و بحث درباره تحلیل داده؛
– مطالعات موردی