توری‌های مصنوعی نقش مهمی در فرایندهای ساخت ساختارهای کوچک در مقیاس نانو و همچنین در مشخصه یابی نانواشیاء ایفا میکنند. به‌عنوان مثال در تولید مدارهای مجتمع نیم‌رسانا به وسیله فنون لیتوگرافی با حجم بالا الگوی توری روی ماسک تصویری و ویفر سیلیکونی به صورت نوری مورد آزمون قرار گرفته است علامت نوری بررسی شده برای اهداف همترازی نسبی ماسک نسبت به ویفر در مراحل مختلف تولید لیتوگرافی در ابزارهای تولید ویفر – اسکن‌کننده مورد استفاده قرار می‌گیرد در بحث ساخت نیم رساناها مانند دیگر روش‌های تولید دقت بالای مکان‌یابی در مقیاس نانو مورد نیاز می‌باشد معمولا سامانه‌های رمزگذاری طولی یا زاویه‌ای که بر پایه توری مصنوعی می‌باشد برای شناسایی محل محورهای متحرک مورد استفاده قرار می‌گیرد از دیگر کاربردهای توری مصنوعی در فناوری نانو می‌توان به استانداردهای کالیبراسیون برای میکروسکوپ‌های وضوح بالا مانند میکروسکوپ‌های کاوندروبشی میکروسکوپ‌های الکترونی روبشی یا میکروسکوپ الکترونی عبوری که ابزار مورد نیاز برای مشخصه یابی ساختار در مقیاس نانو می‌باشند، اشاره کرد. کیفیت توری‌های مصنوعی که برای بازخورد مکانی مورد استفاده قرار می‌گیرند معمولا دقت قابل دسترسی سامانه‌های همترازی یا مکان‌یابی در ابزارهای ساخت را تحت تاثیر قرار می‌دهند همچنین این مطلب در کاربرد توری‌های مصنوعی به‌عنوان استانداردهای کالیبراسیون برای بزرگنمایی تصویر میکروسکوپ با وضوح بالا که کیفیت توری نقش مهمی در عدم قطعیت کالیبراسیون قابل دسترسی استاندارد دارد صادق بوده و برهمین اساس برای عدم قطعیت اندازه‌گیری قابل دستیابی میکروسکوپ نیز نقش مهمی دارد. این استاندارد بر مشخص کردن پارامترهای کیفی که در قالب انحراف شاخصه‌های توری بیان می‌شوند به همراه راهنمایی‌هایی در زمینه کاربرد روش‌های متفاوت اندازه‌گیری و ارزیابی مورد استفاده در کالیبراسیون و مشخصه‌یابی توری‌های مصنوعی، متمرکز شده است.