هدف از تدوین این استاندارد ارائه تعریف و اصطلاحات مرتبط با اندازه‌شناسی در مقیاس نانو است. این استاندارد علاوه بر ارائه معانی و مفاهیم بصورت دقیق و منطبق با ساختار استانداردهای بین‌المللی ارجاعی کوشیده است تا جامع استانداردهایی باشد که از لحاظ نانو بودن ساختار مواد مورد استفاده در آنها و یا روش‌ها یا ابزاری که در آنها استفاده شده است به نحوی مرتبط با اندازه‌گیری هستند.