پیشرفت روز افزون فناوری نانو به‌عنوان صنعت پیشرو در عصر جدید موجب مطالبه توسعه اندازه شناسی گردیده است. نانو مترولوژی را می‌توان به معنای علم و فناوری اندازه‌گیری در مقیاس نانو تعریف کرد. نانومترولوژی اساس تدوین استانداردهای محصولات نانو بوده و کشورها بدون فعالیت در این حوزه نمی‌توانند در زمینه تدوین استانداردهای ملی و مشارکت در تدوین استانداردهای بین المللی فناوری نانو، تولید محصولات وحضور در بازارهای بین المللی قدم جدی بردارند.
در حوزه نانومترولوژی، ستاد نانو از سال ۱۳۸۶ مطالعات گسترده ای را در ارتباط با الزامات ملی، منطقه‌ای، بین المللی، تجهیزات، شرایط محیطی و آزمایشگاهی مرکز نانومترولوژی، مواد مرجع و مطالعات ساختمانی آزمایشگاهای مربوطه آغاز نمود. در مهرماه ۱۳۹۲ توافقنامه همکاری بین مرکز ملی اندازه‌شناسی و ستاد نانو به امضا رسید و با تلاش طرفین در آبان سال ۱۴۰۰ سند راهبری توسعه اندازه‌شناسی کشور در فناوری نانو (نانومترولوژی) مصوب و ابلاغ شد.