محصولات فناوری نانو ایران | کالا ها | دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل

دسته بندی محصولات

دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل

دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل
تعداد رای : 1

لیتوگرافی یکی از مهم‌ترین پروسه‌های ساخت ادوات نیمه هادی به شمار می‌رود. در تکنیک‌ لیتوگرافی، ابتدا طرحی از یک الگو بر روی ماسک تشکیل می‌شود و سپس آن طرح به ماده دلخواه جهت تولید محصول مورد نظر منتقل می‌گردد. با کمک این روش می‌توان ساختارهایی با دقت و ابعاد نانومتری ساخت. فرآیند لیتوگرافی تاپیش از این یکی از مهم‌ترین گلوگاه‌ها در ساخت ادوات نیمه هادی در ایران بوده است. اما در سال‌های اخیر شرکت آژینه محصولات متنوعی با تکنولوژی پیچیده برای انجام فرآیند لیتوگرافی نوری تولید کرده است و گام بزرگی برای پیشرفت کشور در این زمینه برداشته است.

هسته مرکزی یک سیستم برای انجام لیتوگرافی نوری، سیستم نوردهی است که اغلب از نور UV بدین منظور استفاده می‌شود. کوچکترین ابعادی که می‌توان در الگو ایجاد کرد را طول موج نور منبع تعیین می‌کند. پس برای داشتن دقت بالا و یا توانایی ایجاد طرح‌های بسیار ریز از نور با کوچکترین طول موج در دسترس استفاده شده است.

اساس فناوری لیتوگرافی بر واکنش شیمیایی است که در اثر اعمال نور UV بر مایع پلیمری حساس به نور به نام فوتورزیست رخ می‌دهد. بدین ترتیب که برخورد نور UV به فوتورزیست می‌تواند منجر به محکم شدن (در فوتورزیست منفی) و یا سست شدن (در فوتورزیست مثبت) پیوندهای بین زنجیرهای پلمیری فوتورزیست شود. هنگامی که این پیوندها سست شوند می‌توان این قسمت‌ها را در حلال مناسب حل و از روی نمونه پاک کرد. در نتیجه با قرار دادن ماسک بین منبع نور و نمونه، در قسمت‌هایی که ماسک تیره است از برخورد نور به فوتورزیست جلوگیری می‌شود و بقیه قسمت‌های ماسک که شفاف هستند نور را از خود عبور می‌دهند. با انجام واکنش شیمیایی ذکر شده ( برای مثال در فوتورزیست مثبت) قسمت‌هایی از فوتورزیست که نور خورده است در حلال حل شده و جدا می‌شوند و بدین ترتیب الگوی موجود در ماسک به نمونه منتقل می‌شود.

با این توضیحات پر واضح است که اولین مرحله فرآیند لیتوگرافی اسپین کردن فوتورزیست بر روی نمونه است به طوری که لایه کاملا یکنواختی را روی نمونه ایجاد کند. زیرا نور منبع در فاصله کانونی ثابت و دقیقی متمرکز می‌شود و اگر سطح نمونه یکنواخت نباشد ممکن است نور در بعضی قسمت‌ها متمرکز نباشد و عمل نور دهی به درستی انجام نشود. سرعت چرخش دستگاه اسپینر نقش کلیدی در این مرحله ایفا می‌کند. در مرحله بعد برای اینکه فوتورزیست پیش از نور دهی پیوندهای محکمی داشته باشد و حلال موجود در آن تبخیر شود لازم است نمونه چند دقیقه حرارت داده شود که به این عمل پیش پخت گفته می‌شود. مراحل پخت فوتورزیست‌های پلیمری از نظرکنترل دما و زمان پخت از اهمیت بالایی برخورداراست. لذا شرکت آژینه محصولی را ارائه داده است که قسمت‌های مهم و اساسی فرآیند لیتوگرافی را بصورت یکجا و در کنار هم در اختیار مصرف کننده قرار می‌دهد.

  • ساخت مدارهای مجتمع، ابزارهای ذخیره اطلاعات، حسگرهای مینیاتوریزه شده، سیستم‌های میکروالکترومکانیک (MEMS) و نانوالکترومکانیک (NEMS)

جزئیات مشخصات فنی این دستگاه در جدول زیر ارائه شده است.

امروزه با رشد صنعت میکروالکترونی، ابعاد اجزا در این سیستم‌ها و به خصوص در مدارهای میکروالکترونیک به طور مداوم در حال کوچک شدن است. این پدیده می‌تواند مزایایی از جمله کاهش مصرف مواد اولیه و انرژی،کاهش قیمت تمام شده قطعات و مینیاتوریزه کردن قطعات را شامل شود. همچنین گرایش به کاهش ابعاد منافع دیگری از جمله افزایش سرعت و راندمان قطعات الکترونیکی را نیز به دنبال دارد. امروزه تلاش‌های گسترده‌ای برای پیشرفت روش‌های ساخت نانو ساختارها صورت می‌گیرد. یکی از استراتژی‌های بالا به پایین در ساخت ابزار نانو که از تکنیک لیتوگرافی متداول ایجاد شده است به عنوان نانولیتوگرافی شناخته می‌شود که در این تکنیک قابلیت الگودهی نمونه در ابعاد میکرو و نانو وجود دارد.

  • فرآیند لیتوگرافی حتما باید در اتاق تمیز انجام شود.
  • هنگام قرار دادن نمونه و یا ماسک در داخل دستگاه اسپینر و یا محفظه نور دهی حتما از دستکش استفاده شود و از کثیف شدن محفظه داخلی به هر طریقی جلوگیری شود.
  • قبل از نور دهی و همچنین اسپین کردن اطمینان حاصل شود که پمپ دستگاه روشن است و نمونه در نگهدارنده قرار گرفته است.
  • برای اطلاع جامع از نحوه استفاده دستگاه، به کاتالوگ و راهنمای کاربری دستگاه مراجعه بفرمایید.
  • هنگام نور دهی حتما از عینک محافظ اشعه فرابنفش استفاده شود و به هیچ عنوان به اشعه نور خیره نشوید.
  • هنگام کار با دستگاه، لباس، موها و یا دست‌ها از قسمت‌های اتوماتیک مکانیکی دور نگه داشته شود.
  • هنگامی که گرم کننده دستگاه داغ است از جابجایی دستگاه خودداری شود.
  • برای قراردادن نمونه و یا برداشتن نمونه از روی گرم کننده حتما از پنس استفاده شود.

استاندارد های این محصول

  • گواهی ارتباط با نانو

    گواهی ارتباط با نانو

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۷/۰۵/۳۱

    تاریخ اعتبار : ۱۴۰۰/۰۶/۰۱

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۷/۰۵/۳۱

    تاریخ اعتبار : ۱۴۰۰/۰۶/۰۱

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کد امنیتی (حروف بزرگ)