دسته بندی محصولات

دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما مدل mini PACVD

دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما مدل mini PACVD
تعداد رای : 1

لایه‌نشانی شیمیایی بخار (CVD) فرآیندی است که واکنش‌گرهای گازی، فعال شده در یک محفظه به وسیله گرما، نور یا پلاسما، در نزدیکی یا روی سطح گرم یک زیرلایه واکنش داده و به صورت جامد روی سطح رسوب می‌کنند. لایه‌نشانی شیمیایی بخار از جمله روش‌های پوشش‌دهی است که می‌تواند برای ایجاد پوشش‌های فلزی و غیرفلزی، کاربیدی، نیتریدی، اکسیدی و بین‌فلزی استفاده شود. از جمله روش‌های لایه‌نشانی شیمیایی بخار که برای پوشش‌دهی قطعات و ابزارهای صنعتی مورد توجه خاصی قرار گرفته است، روش لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) می‌باشد. وجود ذرات پر انرژی (یون‌ها، الکترون‌ها و ...) و بمباران مداوم سطح فلز توسط این ذرات، شرایط مناسبی را برای انجام واکنش‌های شیمیایی و ایجاد پوشش در دماهای پایین فراهم می‌کند. هم‌چنین بمباران سطح توسط ذرات پر انرژی، لایه‌های اکسیدی سطحی را از بین برده و در نتیجه منجر به اصلاح خواص فیزیکی، شیمیایی و مکانیکی پوشش می‌شود. بدین ترتیب، در لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما در مقایسه با فرآیند معمول لایه‌نشانی شیمیایی بخار، واکنش‌‌های شیمیایی که منجر به تشکیل پوشش می شود، در دماهای پایین‌‌تری اتفاق می‌‌افتد.
در این فرآیند، نمونه‌ها ابتدا در محیط پلاسمای گاز خنثی مانند آرگون، تمیزکاری سطحی شده و دمای آن‌ها تا مقدار مورد نظر افزایش می‌‌یابد. سپس گازهای واکنش‌گر که مخلوطی از گازهای نیتروژن، هیدروژن، آرگون و TiCl4 با نسبت‌های معین است وارد محفظه می‌‌شود؛ در نهایت لایه نشانی با کنترل پارامترهایی همچون دما، زمان، فشار، فرکانس و عرض پالس صورت می‌گیرد. استفاده از این روش ساخت پوشش‌های تک لایه یا چند لایه دوتایی، سه‌تایی و چهارتایی نظیرTiN ، TiC، CNTi، TiAlN، TiBN، TiAlCN و ... را امکانپذیر می‌‌کند. از جمله مزیت‌های این روش، امکان انجام فرآیند نیتراسیون و متعاقب آن فرآیند لایه نشانی است که باعث ایجاد پوشش‌های فوق سخت می‌شود. همچنین این روش ضمن حفظ کیفیت لایه‌نشانی دارای سرعت لایه‌نشانی بالاتری در مقایسه با سایر روش‌ها است.
برخی از کاربردهای لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما عبارتند از:
  • بهبود مقاومت به خوردگی قطعات
  • پوشش‌دهی قالب‌های پلاستیکی، آلومینیم و قطعات حساس در صنایع خودرو و هوافضا
  • رشد نانولوله‌های کربنی روی انواع سنسورها و قطعات الکترونیکی و اپتیکی

جزئیات مشخصات فنی در جدول زیر ارائه شده است.
filereader.php?p1=main_c4ca4238a0b923820
امروزه، لایه‌نشانی شیمیایی بخار روشی منحصر بفرد در تولید برخی از مواد نانو است. برای مثال می‌توان به تولید انواع دگرشکل‌های کربنی شامل نانوالیاف، نانولوله‌‌ها، نانوالماس و گرافن اشاره کرد. اما از کاربردهای خاص PACVD در حوزه فناوری نانو می‌توان به ایجاد تک لایه‌ها و یا چند لایه‌های فلزی و غیرفلزی با ترکیبات مختلف و همچنین امکان رشد نانولوله‌های کربنی روی انواع قطعات الکترونیکی و اپتیکی اشاره کرد.
  • برای شروع عملیات ابتدا درب محفظه را باز کرده و داخل محفظه را از هرگونه آلودگی اعم از اکسیدها، پلیسه، گرد و غبار و مواد باقی‌مانده از فرآیند قبلی پاک‌سازی نمایید؛ در غیر این صورت لایه نشانی به درستی صورت نمی‌گیرد و لایه ایجاد شده آلوده می‌شود.
  • هر گونه آلاینده را از سطح نمونه‌‌ها حذف کرده و سپس آن‌ها را با فاصله مناسب از یکدیگر و نزدیک به نازل روی پلت فرم قرار دهید.
  • برای استفاده از گازها، ابتدا شیر کپسول‌ها را باز کرده و فشار خروجی را به وسیله فشارسنج خروجی رگلاتور روی 3 بار تنظیم کنید.
  • قبل از استفاده از پلاسما، محفظه باید با استفاده از یک گرم‌کن بیرونی گرم شود. برای این کار دمای مورد نظر را از روی کنترلر (بطور مثال 500 درجه سانتی‌گراد) تنظیم کرده و سوئیچ گرم کن را فشار می‌‌دهیم. با انجام این کار گرم کن به طور اتوماتیک روشن شده و دمای محفظه را بالا می‌برد.
  • برای ایجاد پلاسما ابتدا باید فشار محفظه پایین باشد.
  • در طول فرآیند دما باید ثابت بماند؛ این کار با استفاده از سیستم گرمایش بیرونی و گرمای ناشی از پلاسما انجام می‌شود.
  • با اتمام فرآیند پوشش‌دهی، پلاسما به طور خودکار قطع می‌شود. بنابراین برای جلوگیری از باقی ماندن مواد شیمیایی در محفظه واکنش، لازم است چندین دقیقه قبل از اتمام فرآیند، دریچه‌‌های ورودی و خروجی مخزن مواد شیمیایی را ببندید.
  • پس از خنک شدن، برای خارج‌کردن نمونه‌ها از محفظه ابتدا باید خلا محفظه شکسته شود.
  • پس از اطمینان از شکسته شدن کامل خلا، درب محفظه را باز کرده و نمونه‌‌ها را به دقت خارج کنید.
  • برای اطلاع جامع از نحوه استفاده دستگاه، به کاتالوگ و راهنمای کاربری دستگاه مراجعه بفرمایید .
  • برای تمیز‌کردن محفظه قبل از شروع به کار از وسایل ایمنی مانند ماسک و دست‌کش استفاده شود.

استاندارد های این محصول

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۶/۰۸/۳۰

    تاریخ اعتبار : ۱۳۹۹/۰۹/۰۱

  • گواهی ارتباط با نانو

    گواهی ارتباط با نانو

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۶/۰۸/۳۰

    تاریخ اعتبار : ۱۳۹۹/۰۹/۰۱

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کد امنیتی (حروف بزرگ)