دستگاه کربن کوت مدل DCR

دستگاه کربن کوت مدل DCR
تعداد رای : ۲

لایه‌نشانی کربن یک نوعی روش لایه‌نشانی مبتنی بر تبخیر حرارتی در خلا است که به صورت خاص و ویژه برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی (نمونه‌های عایق میکروسکوپ الکترونی روبشی و عبوری) توسعه یافته و استفاده می‌شود. این روش برای تصویرسازی‌های با رزولوشن‌های بالا مناسب است. استفاده از لایه‌های کربنی در میکروسکوپ الکترونی به دلیل سیگنال کم زمینه و هدایت الکتریکی نسبتا خوب بسیار شناخته شده است. لایه‌های نازک بین 5 تا 50 آنگستروم برای نمونه‌های TEM استفاده می‌شود، در حالی که برای آماده‌سازی نمونه‌های SEM و میکروآنالیز‌های مبتنی بر پرتو ایکس لایه‌های کمی ضخیم‌تر حدود 50 تا 500 آنگسترومی به کار می‌رود.
امروزه تبخیر حرارتی کربن به صوت گسترده‌ای برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی استفاده می‌شود. در این روش، یک چشمه کربنی چه به شکل یک سیم یا میله، در یک چمبر خلا بین دو الکترود جریان بالا قرار می‌گیرد. با تخلیه جریان الکتریسیته، گرمای زیاد سبب تبخیر کربن شده و یک ابری از بخار کربن بر روی زیرلایه نشست می‌کند. همچنان که گفته شد مهمترین هدف لایه‌نشانی کربنی در میکروسکوپ‌های الکترونی، استفاده از آن جهت میکروآنالیزهای پرتو ایکس و فیلم‌های محافظ نمونه بر روی توری TEM است.
اکثر سیستم‌های پوشش‌دهنده کربن مجهز به منبع تغذیه جریان بالا هستند که امکان لایه‌نشانی کربن را در دو حالت مختلف امکان پذیر می‌سازند. حالت پالسی (pulse mode) و حالت دفعی (flash mode). در حالت پالسی، لایه‌نشانی کربن در حین بازه‌های زمانی کوتاه صورت می‌پذیرد. به دلیل طبیعت لایه‌نشانی پالسی، کنترل پذیری فرآیند در این روش بهبود می‌یابد و اتلاف کربن در مقایسه با دیگر روش‌های لایه‌نشانی مشابه به حداقل مقدار خود می‌رسد.
دیگر قابلیتی که معمولا در پوشش‌دهنده‌های کربنی گنجانده می‌شود آن است که زیرلایه می‌تواند حین فرآیند لایه‌نشانی دوران کند. این قابلیت مطمئن خواهد ساخت که پوشش نهایی چه از نظر ضخامت و چه از نظر ترکیب شیمیایی یکنواخت خواهد بود. این سیستم‌های لایه‌نشانی همچنین می‌توانند به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه نیز مجهز شوند. قابلیتی که امکان حرکت را در سه محور X، Y و Z میسر ساخته و مطمئن می‌سازد که تمام نقاط زیرلایه، حتی داخل حفرات نمونه‌های متخلخل کاملا لایه‌نشانی شوند. نگه‌دارنده نمونه نیز می‌تواند بر حسب الزامات مشتری طراحی شود. تعویض و جاگذاری نگهدارنده‌های نمونه در چنین سیستمی بسیار ساده بوده، طوری که کاربر شخصا می‌تواند مسئولیت آن را بی هیچ مشکلی بر عهده گیرد.
  • آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپی الکترونی (SEM و TEM).
پوشش‌دهنده کربن (مدل DCR) مجهز به یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای می‌باشد. فشار نهایی این دستگاه کمتر از 30 میلی تور بوده و مناسب برای آماده سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS / WDS) و کاربردهای لایه نازک می‌باشد. پوشش‌دهنده کربن (مدل DCR) همچنین مجهز به یک پایشگر ضخامت پوشش (FTM) است که در هر لحظه ضخامت لایه نشست کرده بر روی یک کریستال داخل چمبر را اندازه‌گیری می‌کند. این ماژول می‌تواند در دو حالت مختلف عمل کند؛ حالت ضخامتی و حالت زمانی. در حالت زمانی، عملیات لایه‌نشانی آن قدر ادامه می‌یابد تا زمان از پیش تعیین شده به پایان رسیده و فرآیند لایه‌نشانی متوقف گردد. در حالت ضخامتی، ضخامت از پیش تعیین شده مبنای اتمام فرآیند لایه‌نشانی تعیین می‌شود. با گسترش پوشش و رسیدن به ضخامت مطلوب فرآیند لایه‌نشانی متوقف می‌شود.
جزئیات مشخصات فنی در جدول زیر ارائه شده است.
filereader.php?p1=main_c4ca4238a0b923820
لایه‌نشان کربنی اساسا برای آماده سازی نمونه‌های میکروسکوپ‌های الکترونی SEM و TEM استفاده می‌شود. این روش برای مشاهدات با رزولوشن بالا بسیار مناسب بوده و برای تهیه تصاویر و آنالیز مواد در مقیاس‌های نانو یک پیش‌نیاز محسوب می‌شود.
  • بسیار مهم است که نصب، استقرار و بکارگیری این دستگاه توسط پرسنل ماهر و در تطابق با دستورالعمل زیر صورت پذیرد. هر گونه کوتاهی در این کار، می‌تواند منجر به آسیب‌های برگشت‌ناپذیر شود.
  • حین هر گونه خدمات سرویس‌دهی و نگهداری، اطمینان حاصل کنید که منبع تغذیه اصلی قطع شده است.
  • قبل از تمیز کردن و زدودن باقی‌مانده‌های کربن از داخل چمبر و از روی الکترودها، ابتدا نمونه پوشش‌ داده شده را از داخل چمبر خارج نمایید. دقت نمایید هیچ ذرات کربنی در داخل چمبر باقی نماند.
  • علاوه بر پاکسازی‌های بین عملیات‌های لایه‌نشانی، بازدیدها و پاکسازی‌های دوره‌ای نیز برای حفظ سلامت دستگاه و الکترودها نیز لازم است.
  • یک محل مناسب باید برای نصب دستگاه فراهم شود. این مکان می‌تواند روی یک میز مستحکم یا بر روی یک واگن مخصوص باشد.
  • جهت خروج نمونه پوشش داده شده، کلید ''vacuum pump'' را فشار دهید، سپس صبر کنید تا پمپ خلا خاموش شود و فشار خلا چمبر به آرامی شکسته شود (در صورت فراموشی کاربر مبنی بر خاموش کردن پمپ خلا، سیستم به صورت اتوماتیک پس از 1 ساعت خاموش می‌گردد).
  • محیط کاری سیستم باید در دمای معمول محیط (15 تا 25 درجه سانتی‌گراد) و در شرایطی با رطوبت غیر اشباع نسبی کمتر از 75% باشد.
  • تهویه کافی برای دستگاه نیاز است و موقعیت قرارگیری دستگاه باید به دور از تابش مستقیم نور خورشید باشد.
  • پایش و کنترل فرآیند لایه‌نشانی می‌تواند در دو مد استفاده شود؛ یکی مد زمانی و دیگری مد ضخامت. در مد زمانی، لایه‌نشانی برای یک مدت معین اجرا می‌شود و سیستم دستگاه با به انتها رسیدن زمان، فرآیند لایه‌نشانی را متوقف می‌کند. در مد ضخامت، ضخامت مطلوب در سیستم دستگاه انتخاب می‌شود، سپس هنگامی که مقدار ضخامت مطلوب لایه‌نشانی شد، سیستم دستگاه به صورت خودکار منبع تغذیه DC را قطع می‌کند.
  • برای ممانعت از اعمال پوشش بر سطح داخلی چمبر شیشه‌ای، پرسنل دستگاه می‌تواند از فویل‌های آهنی یا آلومینیومی برای لایه‌نشانی دیواره داخلی دستگاه استفاده کند.
  • سیستم دستگاه به صورت معمول بدون نشت است، لذا اگر مشاهده کردید که فشار در هنگام خلا کردن کاهش نمی‌یابد، آخرین تغییرات را چک نمایید چرا که نواحی مشکوک به مشکل چنین نقاطی خواهند بود.
  • برای اطلاع جامع از نحوه استفاده دستگاه، به کاتالوگ و راهنمای کاربری دستگاه مراجعه بفرمایید.
  • اطمینان حاصل کنید که پریز برق، به صورت کامل در جای خود اتصال داده شده باشد. چک نمایید که ولتاژ کشور و منطقه بکارگیری دستگاه منطبق با مشخصات دستگاه باشد.
  • تخلیه الکتریکی بین الکترودها همراه با تابش شدید نور سفید است. از خیره شدن به نور با چشمان غیر محافظ بپرهیزید.
  • پس از پایان فرآیند لایه‌نشانی از تماس دست با الکترودها بپرهیزید. الکترودها هنوز می‌توانند بسیار داغ باشند.
  • برای جلوگیری از نشت، از هر گونه برآمدگی و خراش بر روی سطح به خصوص در قسمتی که اورینگ‌های چمبر در تماس با صفحه کف و در آلومینیمی هستند باید جلوگیری شود.

استاندارد های این محصول

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۶/۰۸/۳۰

    تاریخ اعتبار : ۱۳۹۹/۰۹/۰۱

  • گواهی ارتباط با نانو

    گواهی ارتباط با نانو

    تاریخ استاندارد : ۱۳۹۶/۰۸/۳۰

    تاریخ اعتبار : ۱۳۹۹/۰۹/۰۱

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کد امنیتی (حروف بزرگ)