سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترونی

سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترونی
تعداد رای : ۱

فناوری نانو
اپتیک 
میکروالکترونیک
ابررسانایی
فیلترهای نوری
اپتوالکترونیک
آینه‌های لیزر
لایه‌های دی‌الکتریک
پوشش‌های سخت
پوشش‌های تزئینی
تجهیزات جانبی نصب شده روی دستگاه:
منبع پرتو الکترونی مغناطیسی kw۳، گردش ۲۷۰ درجه پرتو
منبع تغذیه kw ۳، kV ۶ برای منبع پرتو الکترونی
کاتد مگنترون اسپاترینگ، ۳ اینچ، kw۱، RF و DC با منبع تغذیه DC kw۱
منبع تغذیه RF: ۱۳. ۵۶ مگاهرتز، ۶۰۰ وات
منبع تبخیر مقاومتی: A۲۵۰ با منبع تغذیه AC
تله ازت مایع
ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری
نمونه‌گردان برقی با امکان کنترل دور
گرم‌کن نمونه (از نوع تابشی) با کنترلر دمای PID
محفظه: استیل، حجم: ۱۱۰لیتر، دو پنجره دید، درب در بالا، ۱۲ سوراخ فیدترو به قطر ۲۷ میلیم‌تر
فشارنهایی: محدوده ۶- ۱۰ میلی بار
سیستم تخلیه: پمپ مکانیکی ودیفیوژن یا توربومولکولار، زمان تخلیه برای شروع عملیات: ۴۰ دقیقه
عملکرد: نیمه‌اتوماتیک برای حفاظت در مقابل قطع منابع برق، آب، باد و خطای کاربر
بالابرمحفظه: پنوماتیک الکترونیک
کابینت­‌ها: رنگ الکترواستاتیک

استاندارد های این محصول

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کد امنیتی (حروف بزرگ)