سیستم لایه نشانی به روش اسپاترینگ مدلVCS100F

سیستم لایه نشانی به روش اسپاترینگ
تعداد رای : ۲

مشخصات و اجزا اصلی دستگاه لایه نشانی به روش اسپاترینگ مدل VCS۱۰۰ که جزء پیشرفته‌ترین سیستم‌های لایه نشانی در خلأ بالا است به شرح زیر می‌باشد: 
 سامانه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ متشکل از دو کاتد با قابلیت تنظیم زاویه در سه جهت، منبع تغذیه RF همراه با مچینگ باکس خودکار و منبع تغذیه DC. 
 سامانه لایه نشانی تبخیر حرارتی متشکل از منبع تغذیه با قابلیت ایجاد ۳۰۰ آمپر جریان، فیدتروهای جریان بالای آبگرد، نگهدارنده‌های بوته و نمایشگر جریان گذرنده از بوته. 
محفظه خلأ دو جداره آبگرد از جنس استیل. 
پمپ توربو مولکولار برای رسیدن به فشارهای پایین. 
پمپ روتاری دو مرحله‌ای پشتیبان. 
شیر هوشمند متصل به پمپ توربو برای تنظیم خودکار فشار داخل محفظه با قابلیت تنظیم از طریق مانیتور تاچ اسکرین. 
شیرهای الکترو پنوماتیک برای اتصال پمپ روتاری به محفظه خلأ و پمپ توربو. 
ضخامت سنج کریستالی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی در حین کار با دقت ۱ نانوم‌تر و قابلیت نصب ۴ کریستال کوارتز. 
فشار سنجهای پیرانی و پنینگ با قابلیت کنترل دقیق فرایند خلأ سازی و رسم گرافهای فشار. 
شیرهای هوشمند MFC که کنترل دقیق جریان گازهای اسپاتررینگ و راکتیورا به داخل محفظه خلأ به عهده دارند. 
سیستم مدار بسته خنک کننده آب برای خنک سازی کاتد‌ها و ضخامت سنج. 
نگهدارنده نمونه‌ها همراه با شا‌تر و فیدتروهای الکتریکی. 
قابلیت نصب سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی.

استاندارد های این محصول

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کد امنیتی (حروف بزرگ)